| 🎯 檢測靈敏度 (Sensitivity) |
| 最小可偵測 氦氣 (He) 洩漏率 |
• 真空模式： ≤ 5 · 10-12 mbar·l/s
• 嗅探模式： < 1 · 10-9 mbar·l/s |
| 最小可偵測 氫氣 (H2) 洩漏率 |
• 真空模式： ≤ 1 · 10-8 mbar·l/s
• 嗅探模式： < 1 · 10-7 mbar·l/s |
| 洩漏率顯示範圍 |
1 · 10-12 至 1 · 10-1 mbar·l/s |
| 檢測反應時間 |
< 1 秒 (洩漏訊號時間常數，最終值的 63%) |
| ⚡ 抽氣性能與操作壓力 |
| 最大入口壓力 |
15 mbar |
| 粗抽真空速度 |
• 50 Hz：2.5 m³/h
• 60 Hz：3.0 m³/h
(※ 實際數值依所選前級幫浦而定) |
| 氦氣抽氣速度 (真空模式) |
• 精細模式 (Fine)：1.2 l/s
• 超精細模式 (Ultra-fine)：> 3.1 l/s |
| 開機啟動時間 |
≤ 110 秒 (2 分鐘內即可作業) |
| 🔬 質譜儀與顯示單位 |
| 質譜儀系統 |
• 180° 磁場偏轉 (磁扇形場)
• 離子源：2 個釔/銥 (Yttrium/Iridium) 長壽命陰極
• 可檢測質量 (amu)：2, 3, 4 |
| 支援顯示單位 (可選) |
壓力： mbar, Pa, atm, Torr
洩漏率： mbar·l/s, Pa·m³/s, Torr·l/s, atm·cc/s, sft³/yr
嗅探模式： ppm, g/a eq, oz/yr eq |
| 📏 物理規格與介面 |
| 連接法蘭 |
• 入口法蘭：DN 25 ISO-KF
• 前級幫浦法蘭：2 x DN 25 ISO-KF |
| 尺寸 (W x H x D) |
495 x 475 x 318 mm (Quadro)
486 x 380 x 313 mm (Vario) |
| 重量 |
• PHOENIX Quadro (Dry/Oil)：約 41 ~ 42 kg
• PHOENIX Vario：約 25 kg |
| 操作介面語言 |
支援多國語言：EN (英), DE (德), ZH (中), JA (日), KO (韓), RU, FR, IT, ES, POL |
